大尺寸光罩
名稱：大尺寸光罩
材料：Soda Lime Glass、Quartz
規格：1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm
應用：PCB行業、平板顯示行業
材料：Soda Lime Glass、Quartz
規格：1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm
應用：PCB行業、平板顯示行業
詳情介紹
主要應用領域：
主要應用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板顯示行業；HDI、FPC等PCB行業。
Applications：
Mainly used in LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP and other flat panel display industry；HDI、FPC and other PCB industry.
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鉻版精度 Chrome Mask Specifications（Standard Size:430mmx430mm）
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精度 / 級別
Items / Class
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最高精度
Grade 1
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高精度
Grade 2
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中精度
Grade 3
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一般精度
Grade 4
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最小線寬/線縫
Min.Line/Space Width
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1.0μm/1.0μm | 5μm/5μm | 10μm/10μm |
20μm/20μm
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線條精度
CD Control
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±0.15μm （QZ） |
±0.5μm
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±1.0μm
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±2.0μm
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總長精度
Total Pitch Accuracy
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±0.5μm（QZ）
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±1.0μm
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±2.0μm
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±2.0μm
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圖形位置精度
Registration Accuracy
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±0.5μm（QZ）
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±1.0μm
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±2.0μm
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±3.0μm
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套合精度
Overlay Accuracy
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±0.5μm（QZ）
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±1.0μm
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±2.0μm
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±3.0μm
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垂直精度
Orthogonality
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±0.75μrad
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±2.0μrad
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±3.0μrad
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±4.0μrad
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鉻版材料 Substrate(Photomask blank phate)
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| ?材料 Material | Soda Lime Glass、Quartz |
| ?最大尺寸Max. Size | 1100mm×1100mm |
| ?常規尺寸Normal Size |
406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm,
609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm
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| ?厚度 Thickness |
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2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm
5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ) |
| ?鉻膜 Film Type | Low Reflectance Chrome |
| ?光學密度Optical Density（λ=450nm） | Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3 |
| ?反射率Reflectivity（λ=436nm） | Between Plates10±5% In Plate±2% |
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